東京工業大学 共用機器管理システム

機器詳細情報 ユニット:最表面分析システム

  • 環境制御型光電子分光/昇温脱離分光装置(XPS)
  • ESCA 1700R
設備IDID No.5
メーカーManufacturerアルバック・ファイ株式会社 (ULVAC-PHI)
検索キーワードKeyword分光計、XPS、X線
概要・性能Outline試料表面にX線を照射し、生じる光電子のエネルギーから構成元素や化学(結合)状態について探索可能
仕  様Spec2021/10/25 循環冷却水ポンプ故障による水漏れが発生しました
      現在修理日程調整中です
2021/06/01 PCのインターフェース修理完了しました
      (昇温脱離装置は使用できません)

トレーニング動画は現在非公開です
サンプルホルダーにサンプルをセットする手順のみ公開しています


ESCA1700-0 サンプルホルダーにサンプルを取り付ける
ESCA1700-1 初期状態の確認
ESCA1700-2 導入室のフタを取る
ESCA1700-3 サンプルを導入室にセットする
ESCA1700-4 サンプルの真空引き
ESCA1700-5 サンプルを分析室に移動させる
ESCA1700-6 ステージにサンプルを載せる
ESCA1700-7 PC立ち上げ~中和銃をONにする
Alignment , Wide Scan , Narrow Scan はそれぞれmono-XPSとmicro-XPSとほぼ同じ操作になるので参考にして下さい

mono-XPS(PHI 1600) 12.アライメント -Alignment-
micro-XPS(Versa Probe) 11.ワイドスキャン分析(SUR)
micro-XPS(Versa Probe) 12.ナロースキャン分析

ESCA1700-8 線源・中和銃を元の位置に戻す
ESCA1700-9サンプルを分析室から取り出す
ESCA1700-10サンプルを導入室から取り出す
ESCA1700-11終了操作
設置場所Locationすずかけ台 G1-618
機器管理者Machine Administrator技術専門員 金井 貴子
連絡先(内線)Contact(Internal) (3356)
予約方式Reserve Type仮予約(要承認)

利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees

学内 / Within University学外 / Outside University
(セルフ / Self use)(依頼測定 / Measurement request)学術利用
(本学以外の大学又は公的機関)
産業利用
(公企業・私企業)
利用の可否Accept/Not
利用者による測定:
基本料金Fees
2,000円/1時間、上限20,000円/日

留意点 / Notes

実験内容・条件について相談後、講習を経て使用可能