機器詳細情報 ユニット：【Ｃ】最表面分析システム
- 走査型X線光電子分光分析装置（XPS）
- VersaProbe
| 設備IDID No. | 4 |
|---|---|
| メーカーManufacturer | アルバック・ファイ（ULVAC-PHI） |
| 検索キーワードKeyword | X線光電子分光計 Ｘ線光電子分光計 X線光電子分光光度計 Ｘ線光電子分光光度計 XPS ESCA X-ray Photoelectron Spectroscopy 紫外光電子分光法 UPS Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy ULVAC-PHI |
| 概要・性能Outline | 試料表面にＸ線を照射し、生じる光電子のエネルギーから構成元素や化学（結合）状態について探索可能。 元素マッピングにも応用される |
| 仕 様Spec | （長所） モノクロメータ付き 深さ方向分析可能（＋イオンスパッタリング装置） 非破壊深さ方向分析可能（＋角度分解） 紫外光電子分光分析装置併用可能 （短所） X線出力が（PHI1600に比べると）弱い 2025/05/27 復旧しました 2025/03/12 X線パワー低下により使用できません
UPSは使用できません
サブチャンバーの真空ゲージが壊れているので昇温機能、および真空破断は使用できません |
| 設置場所Location | 大岡山 南7号館／410号室 |
| 機器管理者Machine Administrator | 技術専門員 金井貴子 |
| 連絡先（内線）Contact(Internal) | c-versa[at]tokyotech-pai.jp（3356） |
| 予約方式Reserve Type | 仮予約（要承認） |
利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees
| 学内 / Within University | 学外 / Outside University | |||
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| （セルフ / Self use） | （依頼測定 / Measurement request） | 学術利用 （本学以外の大学又は公的機関） | 産業利用 （公企業・私企業） |
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| 利用の可否Accept/Not |  |  | | |
| 利用者による測定： 基本料金Fees | 3,000円/1時間、上限30,000円/日 | |||
| 講習会受講料Training fee | 3,000円/1時間/人 | |||
留意点 / Notes
実験内容・条件について矢野先生に事前相談後、講習を経てライセンス授与後使用可能