東京工業大学 共用機器予約システム

機器詳細情報 ユニット:ナノ組織観察システム

  • 雰囲気制御型走査型電子顕微鏡 (SEM)
  • JSM-6610
設備IDID No.38
メーカーManufacturer日本電子
検索キーワードKeyword顕微鏡、電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、SEM、表面分析
概要・性能Outline走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞り電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子を検出することで対象を観察する。主にサンプル表面の構造を観察する。
仕  様Spec特色・仕様: 雰囲気制御型であるので大気非暴露状態で観察が可能である。 SEM/EDX測定が可能。 加速電圧:~30kv 分解能:3.0nm(30kv) 倍率:~x300,000 実例:セラミックスの非暴露表面観察
設置場所Locationすずかけ台 G1棟016号室
機器管理者Machine Administrator松井直喜
連絡先(内線)Contact(Internal)a-jsems[at]tokyotech-pai.jp (5561)
予約方式Reserve Type通常予約

利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees

学内 / Within University学外 / Outside University
(セルフ / Self use)(依頼測定 / Measurement request)学術利用
(本学以外の大学又は公的機関)
産業利用
(公企業・私企業)
利用の可否Accept/Not
利用者による測定:
基本料金Fees
1,000円/1時間2,000円/1サンプル

留意点 / Notes

SQUID装置稼動時にはHeガスの発生に注意。 自己測定の利用希望者は、機器管理者からオペトレ(サンプル調整含む)を受講した後、自己測定を行う。