機器詳細情報 ユニット：【Ａ】ナノ組織観察システム
- 雰囲気制御型走査型電子顕微鏡（SEM）
- JSM-6610
| 設備IDID No. | 38 |
|---|---|
| メーカーManufacturer | 日本電子 |
| 検索キーワードKeyword | 走査型電子顕微鏡 走査電子顕微鏡 SEM 表面分析 表面観察 Scanning Electron Microscopy Scanning Electron Microscope |
| 概要・性能Outline | 走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞り電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子を検出することで対象を観察する。主にサンプル表面の構造を観察する。 |
| 仕 様Spec | 特色・仕様： 雰囲気制御型であるので大気非暴露状態で観察が可能である。 SEM/EDX測定が可能。 加速電圧：～30kv 分解能：3.0nm(30kv) 倍率：~x300,000 実例：セラミックスの非暴露表面観察 |
| 設置場所Location | すずかけ台 G1棟／016号室 |
| 機器管理者Machine Administrator | 物質理工学院 松井直喜 |
| 連絡先（内線）Contact(Internal) | a-jsems[at]tokyotech-pai.jp（5561） |
| 予約方式Reserve Type | 通常予約 |
利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees
| 学内 / Within University | 学外 / Outside University | |||
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| （セルフ / Self use） | （依頼測定 / Measurement request） | 学術利用 （本学以外の大学又は公的機関） | 産業利用 （公企業・私企業） |
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| 利用の可否Accept/Not |  | |  | |
| 利用者による測定： 基本料金Fees | 200円/1時間 | 2,000円/1サンプル | ||
留意点 / Notes
SQUID装置稼動時にはHeガスの発生に注意。 自己測定の利用希望者は、機器管理者からオペトレ（サンプル調整含む）を受講した後、自己測定を行う。