東京工業大学 共用機器管理システム

機器詳細情報 ユニット:組織計測システム

  • 原子間力顕微鏡(AFM)
  • 5420SPM
設備IDID No.31
メーカーManufacturerアジレントテクノロジー
検索キーワードKeyword顕微鏡、AFM、表面分析
概要・性能Outline原子間力顕微鏡モードによるサブミクロンレベルの表面構造、オングストロームレベルの面粗さ解析が可能。

応用例としてケルビン力顕微鏡測定モードでは、接触電位差測定や外部測定機器との接続によるデバイス動作時の電場分布の測定も可能。
仕  様Specサンプルサイズ: φ20 mm以内
スキャン範囲: 最大90 um角(低速スキャンによる)
面内分解能: ~10 nm、面直分解能: <0.2 nm
設置場所Location大岡山 E2-503
機器管理者Machine Administrator清水亮太
連絡先(内線)Contact(Internal)d-afm[at]tokyotech-pai.jp (2118)
予約方式Reserve Type通常予約

利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees

学内 / Within University学外 / Outside University
(セルフ / Self use)(依頼測定 / Measurement request)学術利用
(本学以外の大学又は公的機関)
産業利用
(公企業・私企業)
利用の可否Accept/Not
利用者による測定:
基本料金Fees
1,000円/時間

留意点 / Notes

実験内容・条件について相談後、講習を経て使用可能