機器詳細情報 ユニット：【Ｃ】最表面分析システム
- X線／紫外光電子分光分析装置（XPS）
- PHI-1600
| 設備IDID No. | 3 |
|---|---|
| メーカーManufacturer | アルバック・ファイ（ULVAC-PHI） |
| 検索キーワードKeyword | X線光電子分光計 Ｘ線光電子分光計 X線光電子分光光度計 Ｘ線光電子分光光度計 XPS ESCA X-ray Photoelectron Spectroscopy ULVAC-PHI |
| 概要・性能Outline | 試料表面にＸ線を照射し、生じる光電子のエネルギーから構成元素や化学（結合）状態について探索可能。 元素濃度分析が可能（Li〜）
9/18 現在中和銃が使用できません。
修理完了は12/2を予定しています。 修理完了まで仮予約はできません。 |
| 仕 様Spec | X線源 ：モノクロメータAl kα（最大出力300W） 付属装置１：絶縁性試料のための中和電子銃 付属装置2：試料破断装置 分析領域サイズ：0.15~0.8mmΦ 試料サイズ：1インチホルダーに載せられる程度（厚さ最大7mm程度） ※イオン銃は装備されていないので表面スパッタはできません。 |
| 設置場所Location | 大岡山 南7号館／410号室 |
| 機器管理者Machine Administrator | 技術専門員 金井貴子 |
| 連絡先（内線）Contact(Internal) | c-phi[at]tokyotech-pai.jp（3356） |
| 予約方式Reserve Type | 仮予約（要承認） |
利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees
| 学内 / Within University | 学外 / Outside University | |||
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| （セルフ / Self use） | （依頼測定 / Measurement request） | 学術利用 （本学以外の大学又は公的機関） | 産業利用 （公企業・私企業） |
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| 利用の可否Accept/Not |  |  | | |
| 利用者による測定： 基本料金Fees | 3,000円/1時間 上限30,000円/日 | |||
| 講習会受講料Training fee | 3,000円/1時間/人 | |||
留意点 / Notes
実験内容・条件について事前相談後、講習を経てライセンス授与後使用可能