機器詳細情報 ユニット：最表面分析システム
- X線光電子分光分析装置(XPS)
- ESCA 5500MT
| 設備IDID No. | 2 |
|---|---|
| メーカーManufacturer | アルバックファイ（ULVAC-PHI） |
| 検索キーワードKeyword | XPS、ESCA、X線光電子分光 |
| 概要・性能Outline | 試料表面にＸ線を照射し、生じる光電子のエネルギーから構成元素や化学（結合）状態について探索可能。 元素濃度分析にも利用可（Li〜） |
| 仕 様Spec | X線源：Mg kα線（非単色化線源） 付属装置：Arイオンスパッタリング装置（深さ方向分析） 試料サイズ：1インチ試料ホルダーに載るもの（厚さ制限約7mm） |
| 設置場所Location | 大岡山 南7号館410号室 |
| 機器管理者Machine Administrator | 金井貴子 |
| 連絡先（内線）Contact(Internal) | c-escamt[at]tokyotech-pai.jp(3356) |
| 予約方式Reserve Type | 仮予約（要承認） |
利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees
| 学内 / Within University | 学外 / Outside University | |||
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| （セルフ / Self use） | （依頼測定 / Measurement request） | 学術利用 （本学以外の大学又は公的機関） | 産業利用 （公企業・私企業） |
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| 利用の可否Accept/Not |  |  | | |
| 利用者による測定： 基本料金Fees | 2,000円/時、20,000円/日 | |||
| 講習会受講料Training fee | 2,000円/時/人 | |||
留意点 / Notes
実験内容・条件について事前相談後、講習を経てライセンス授与後使用可能