東京工業大学 共用機器管理システム

機器詳細情報 ユニット:最表面分析システム

  • X線光電子分光分析装置(XPS)
  • ESCA 5500MT
設備IDID No.2
メーカーManufacturerアルバックファイ
検索キーワードKeywordXPS、ESCA、X線光電子分光
概要・性能Outline試料表面にX線を照射し、生じる光電子のエネルギーから構成元素や化学(結合)状態について探索可能。 元素濃度分析にも利用可(Li〜)
仕  様SpecX線源:Mg, Al kα線(非単色化線源)選択可(最大300W)  付属装置1:絶縁性試料のための電子中和銃  付属装置2:イオンスパッタリング装置(深さ方向分析)  分析領域サイズ:0.15~0.8mmΦ  試料サイズ:1インチ試料ホルダーに載るもの(厚さ制限約7mm)
設置場所Location大岡山 南7号館410号室
機器管理者Machine Administrator金井貴子
連絡先(内線)Contact(Internal)2164
予約方式Reserve Type仮予約(要承認)

利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees

学内 / Within University学外 / Outside University
(セルフ / Self use)(依頼測定 / Measurement request)学術利用
(本学以外の大学又は公的機関)
産業利用
(公企業・私企業)
利用の可否Accept/Not
利用者による測定:
基本料金Fees
1500円/時、15,000円/日

留意点 / Notes

実験内容・条件について事前相談後、講習を経てライセンス授与後使用可能