東京工業大学 共用機器管理システム

機器詳細情報 ユニット:ナノ組織観察システム

  • 電界放出型走査電子顕微鏡 (SEM)
  • S-5500
設備IDID No.15
メーカーManufacturer日立ハイテクノロジーズ
検索キーワードKeyword顕微鏡、電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、SEM、表面分析
概要・性能Outline電子線を照射したときに生じる二次電子・反射電子の結像・シグナルから試料の表面微細構造や組成分布を探索する。
仕  様SpecSEM観察、EDX分析 【!注意!】2021年9月27日(月)にSEMのPCを交換しました。 立上げ時に、ディスプレイスイッチをONした後のモニター画面表示が以前と異なります。 デスクトップ上のFE-PC_SEMという装置のアイコンをクリックしてログインしてください。 また、PC交換前の画像データを新PCに移行しておりません。 デスクトップ上のSemImageフォルダのショートカットにご自分のフォルダを作成してください。 EDXを使用する場合、EDXの立上げや立下げはこれまでと変わりありませんが、 EDXソフトを使用しているときのみSEM側のマウスとキーボードが使用できるようになりました。 PCの交換に伴い、ウイルスがいないクリーンな状態です。(9/28現在) データの吸出しにもこれまでと同様ウイルスチェックをした空のUSBを使用して 装置の感染防止にご協力をお願いいたします。
設置場所Location大岡山 E2-204
機器管理者Machine Administrator共用システム 中薗
連絡先(内線)Contact(Internal)a-hfem[at]tokyotech-pai.jp (3513)
予約方式Reserve Type通常予約

利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees

学内 / Within University学外 / Outside University
(セルフ / Self use)(依頼測定 / Measurement request)学術利用
(本学以外の大学又は公的機関)
産業利用
(公企業・私企業)
利用の可否Accept/Not
利用者による測定:
基本料金Fees
2000円/時不可
講習会受講料Training fee2000円/人/回

留意点 / Notes

〇実験内容・条件について相談後、講習を経て使用可能。〇事前予約(「前日」は月曜日の場合は金曜日・連休の場合は連休前最終平日)  <翌々日以降>上限2時間(研究室単位)、<翌日>開いている時間帯で最大6時間まで可、<当日>上限は特に設けない