東京工業大学 共用機器管理システム

機器詳細情報 ユニット:物性測定・加工システム

  • 多元薄膜蒸着装置
  • VPE-300T
設備IDID No.1
メーカーManufacturerVICインターナショナル
検索キーワードKeyword薄膜蒸着 多種金属
概要・性能Outline本装置は、2元の抵抗加熱蒸着源および単元(3連)のEB加熱により 多種金属(Pt,Au,Ni,Ti,Cr,Al,Sn,In等)の蒸着が行える。 デバイス加工に使用。
仕  様Spec特色・仕様:  金属蒸着最大サンプルサイズ φ4インチ  水晶振動子による膜厚モニター制御可能。  加熱温度最高600℃ 360°基板回転による均一蒸着。  デバイス加工等に使用。
設置場所Location大岡山 南1号館606A号室
機器管理者Machine Administrator物質理工学院応化系 大友明
連絡先(内線)Contact(Internal)2145
予約方式Reserve Type通常予約

利用対象者・利用料金 / Openness level & Fees

学内 / Within University学外 / Outside University
(セルフ / Self use)(依頼測定 / Measurement request)学術利用
(本学以外の大学又は公的機関)
産業利用
(公企業・私企業)
利用の可否Accept/Not
利用者による測定:
基本料金Fees
500円/1サンプル

留意点 / Notes

自己測定の利用希望者は、試料内容および使用目的のヒアリング後、 機器管理者からオペトレを受講し、自己操作を行う。